shallow trench isolation中文
淺槽隔離,即shallowtrenchisolation,簡稱STI。通常用於0.25um以下工藝,通過利用氮化矽掩膜經過澱積、圖形化、刻蝕矽後形成槽,並 ...,,淺槽隔離,即shallowtrenchisolation,簡稱STI。通常用於0.25um以下工藝,通過利用氮化硅掩膜經過澱積、圖形化、刻蝕硅後形成...
淺溝渠元件隔離技術現況與挑戰
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...(TrenchOxideDishing)的製程瓶.頸。關鍵詞.淺溝渠隔離技術(ShallowTrenchIsolation;STI);固定式砥粒研磨(FixedAbrasive.Polishing);化學機械研磨(DirectCMP) ...
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